论文部分内容阅读
针对横向振动MEMS微谐振器，计入非线性空气阻尼力，对微谐振器非线性动力学特性进行研究。建立微谐振器非线性动力学模型，计入滑移边界条件和稀薄气体效应，利用FLUENT和MATLAB对Navier-Stokes方程和动力学方程进行求解。经过与国外实验对比，可得出考虑非线性阻尼力的平板振幅值非常接近实验值，振幅峰-峰值误差仅为6％，且优于线性动力学的分析结果。为MEMS器件非线性动力学特性分析提供理论依据。