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1 课题简介rn本课题的主要研究内容是针对GaN基深紫外LED外延材料生长的MOCVD设备的研制、开发和生产.研制的MOCVD设备基本性能指标:
GaN-MOCVD深紫外LED材料生长设备
【摘 要】
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1 课题简介rn本课题的主要研究内容是针对GaN基深紫外LED外延材料生长的MOCVD设备的研制、开发和生产.研制的MOCVD设备基本性能指标:
【出 处】
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中国科技成果
【发表日期】
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2010年12期
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