傅里叶变换光谱仪用干涉仪国内专利介绍

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本文主要介绍了用于傅里叶变换光谱仪的不同类型的干涉仪结构,主要包括具有挠曲动镜的驱动结构的干涉仪、具有双动镜驱动结构的干涉仪、采用双面反射动镜结构的干涉仪、动镜定镜一体式单面反射镜结构的干涉仪、双路输出双角反射体干涉仪以及多光束阶梯平面反射镜激光干涉仪.
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