化学溶液沉积法制备涂层导体阻隔层用钨盐前驱体的制备和筛选

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制备了[(n—C4H9)4N]2[W6O19]、过氧钨酸衍生物(APTA)和[(n-C8H17)2NH2]2[W4O13]3种有机钨盐,研究了这几种盐在不同溶剂中的溶解性、溶液的稳定性以及在钇稳定氧化锆(YSZ)基片上的润湿性。研究发现:[(n-C8H17)2NH2]2[W4O13]在丙酸中具有溶解性良好、溶液稳定性高及润湿性好的特点,而且与其它金属盐前驱体在丙酸中的配伍性好。因此,选择[(n—C8H17)2NH2]2[W4O13]作为钨盐的前驱体,使我们尝试用化学溶液沉积法制备涂层导体的钨基双钙钛矿薄膜
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