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MOCVD生长高质量GaN异质外延膜

来源 :电子材料快报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：xfcll

【作 者】

：

褚连青 

【出 处】

：

电子材料快报

【发表日期】

：

1995年4期

【关键词】

：

MOCVD生长 GAN 异质 外延膜 化合物半导体 

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