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<正> 在通往信息社会的道路上,以VLSI为主体的微电子工业是居功至伟的前哨,也是“信息技术链”循环前进的动力和源泉。事实证明,微电子工业已经成为与钢铁、能源、化工工业同等重要,甚至在未来发展中超过这些支柱工业,成为具有战略意义的国家命脉工业。 一、VLSI制造技术的特征 自从1952年英国雷达研究所的达默提出集成电路的思想,到1958年美国德克萨斯仪器公司的J·S·基尔比和仙童公司的A·J·赫尔尼使用平面制作工艺