纳米气体敏感材料的喷射共沉淀法制备及特性

来源 :微纳电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:shilin00100
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在化学共沉淀法的基础上进行改进,采用喷射共沉淀法,制备了ZnGa2O4和ZnFe2O4等一些具有良好形貌的纳米气敏功能材料.采用XRD、SEM和TEM进行结构分析的结果表明,喷射共沉淀法制备的纳米粉末颗粒细小均匀,形状完整.从流体力学角度分析了喷射共沉淀法中物质的输运和反应过程,并解释了试验结果.认为喷射共沉淀法是一种较好的制备纳米功能材料的方法,并对喷射共沉淀法原理进行了分析.
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分析了影响加速度计分辨率的因素,在此基础上,通过采用深度反应离子刻蚀工艺获得大的敏感质量和小的电极间隙、采用电容变化量比枝齿梳状敏感结构大一倍的直齿梳状敏感结构和