【摘 要】
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电子级多晶硅的生产与传统太阳能级多晶硅生产主要工艺基本相同,但是具备其特殊性.对设备、管线加工及安装的洁净度控制、原料和辅料的纯度要求、生产操作的稳定控制都有更苛
【机 构】
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巴彦淖尔聚光硅业有限公司,内蒙古 巴彦淖尔 015543;北京泽华化学工程有限公司,北京 100000
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电子级多晶硅的生产与传统太阳能级多晶硅生产主要工艺基本相同,但是具备其特殊性.对设备、管线加工及安装的洁净度控制、原料和辅料的纯度要求、生产操作的稳定控制都有更苛刻的要求.SiHCl3提纯、还原、尾气回收,以及至硅棒的收割以及后续处理过程都会对多晶硅产品质量产生影响.本文仅从SiHCl3的提纯方面探讨更利于满足电子级多晶硅还原原料的工艺及设备条件,提出了满足电子级多晶硅的SiHCl3提纯工艺流程.
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