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碳化硅以其优异的电学、机械和化学性能成为极端条件下MEMS器件应用的首选材料。梳齿驱动器的固有频率是MEMS器件结构设计中的一个重要参数。采用有限元分析方法，对多晶SiC梳齿驱动器进行了模态分析，得到了前六个模态的固有频率，并与相同结构的硅基梳齿驱动器的固有频率进行了比较，计算结果与理论预言十分吻合。