新型快速准分子激光微加工方法制备毛细管电泳芯片的研究

来源 :传感技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：piaodedaocao

【摘要】

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选用聚合材料聚甲基丙烯酸甲酯（PMMA）代替玻璃，石英等作为毛细管电泳芯片的基片材料．在19kV，5Hz及5mm／min的加工参数下，采用新型快速准分子激光微加工方法完成了毛细管电泳芯片的制

【作者】

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刘莹姚李英任康宁吴坚刘世炳罗国安陈涛

【机构】

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北京工业大学激光工程研究院,清华大学分析中心

【出处】

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传感技术学报

【发表日期】

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2006年05B期

【关键词】

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毛细管电泳芯片准分子激光微加工刻蚀聚合物 chip based capillary electrophoresis excimer laser mi

【基金项目】

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国家自然科学基金资助（50335050）

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选用聚合材料聚甲基丙烯酸甲酯（PMMA）代替玻璃，石英等作为毛细管电泳芯片的基片材料．在19kV，5Hz及5mm／min的加工参数下，采用新型快速准分子激光微加工方法完成了毛细管电泳芯片的制备．实验结果表明该方法加工过程简单，耗时短，自动化程度高，有效提高了芯片成品率和加工质量．芯片与相同尺寸的盖片在105℃、160N、恒温20min条件下通过热压键合在一起，得到密闭性好的整体芯片．最后在芯片上应用激光诱导荧光检测法对Cy5染料完成了分离检测，获得了重复性很好的检测信息．

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