【摘 要】
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目前,最先进的CMOS工艺逐渐逼近单原子尺度,单纯靠工艺进步来推动发展的时代即将结束,集成电路发展将进入“后摩尔时代”.在“后摩尔时代”,集成电路的发展不会随着“摩尔定
【机 构】
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航天恒星科技有限公司(503所),北京100096;清华大学微电子研究所,北京100084;航天恒星科技有限公司(503所),北京,100096
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目前,最先进的CMOS工艺逐渐逼近单原子尺度,单纯靠工艺进步来推动发展的时代即将结束,集成电路发展将进入“后摩尔时代”.在“后摩尔时代”,集成电路的发展不会随着“摩尔定律”失效而终结,相反,以应用为导向的需求将使集成电路呈现出更加旺盛的发展活力.在边缘计算、人工智能、5G/物联网等应用需求快速兴起的背景下,从集成电路涉及的材料、器件、工艺、设计、封装、新理论及方法学等方面,详细介绍了“后摩尔时代”集成电路最新进展,分析其发展趋势.最后,简要介绍了未来可能对集成电路当前技术路线产生颠覆性影响的二维器件、量子计算等前沿领域的进展,并进行了展望.
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