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微笔直写成型聚酰亚胺图形工艺研究

来源 :高分子学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：liufengsheng

【摘 要】

：

选用均苯四甲酸二酐（PMDA）、4,4′-二氨基二苯醚（ODA）为单体,通过低温缩聚反应制备了PMDA-ODA型聚酰胺酸溶液,通过调节其黏度特性使之适合于微笔直写沉积工艺.采用微笔直写沉积PA

【作 者】

：

曹宇 王小叶 周良文 金曦 曾晓雁 

【机 构】

：

华中科技大学光电子科学与工程学院武汉光电国家实验室

【出 处】

：

高分子学报

【发表日期】

：

2009年5期

【关键词】

：

微笔 直写成型 聚酰胺酸 聚酰亚胺 微机电系统 Micropen  Direct-write deposition  PAA  Polyimide  MEMS 

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选用均苯四甲酸二酐（PMDA）、4,4′-二氨基二苯醚（ODA）为单体,通过低温缩聚反应制备了PMDA-ODA型聚酰胺酸溶液,通过调节其黏度特性使之适合于微笔直写沉积工艺.采用微笔直写沉积PAA溶液和热亚胺化处理两步法制作出PI图形,并通过Au/PI微桥阵列结构实例显示了该工艺在MEMS聚合物牺牲层或结构层制造领域的应用潜力.

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