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【摘 要】
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基于伺服控制理论,介绍一种新型超精密直线运动工作台.精密工作台的底部和四周共设置九个主动空气支承,普通机械导轨拖动,除运动方向外其余五维位置姿态由两只四光束激光探头
【机 构】
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中南大学铁道校区机电工程学院
【出 处】
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华中科技大学学报：自然科学版
【发表日期】
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2001年10期
【基金项目】
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国家自然科学基金，铁道部专项科研项目
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