切换导航
文档转换
企业服务
Action
Another action
Something else here
Separated link
One more separated link
vip购买
不 限
期刊论文
硕博论文
会议论文
报 纸
英文论文
全文
主题
作者
摘要
关键词
搜索
宏微耦合模型相关论文
光刻机运动平台系统的模型辨识
针对机械谐振对超精密光刻系统的影响,对包含有机械谐振的光刻机宏微运动平台进行辨识来抑制机械谐振。首先建立单自由度宏微耦合......
期刊
光刻机
宏微耦合模型
机械谐振
递阶辨识
动态响应性能
Lithography Macro-micro coupling model Mechanical re
看过本文同时还关注
如何写好一篇毕业论文
免费论文查重的方法
从零开始写毕业论文的方法
热心助人的动物
第一届全国脊柱脊髓基础研究及临床...
2004世界科技七大看点
对甘肃省国有企业兼并问题的思考
热心助人的动物
对甘肃省国有企业兼并问题的思考
热心助人的动物