微机械加工技术相关论文
微小型、长寿命、高可靠、高性能的微能源器件是实现储能系统中信息化、智能化、集成化与微型化的重要发展趋势和共性核心技术之一......
微机械陀螺具有广阔的发展和应用前景。在军事上，它可用于战术导弹和智能炸弹的制导、微型卫星和无人机等的姿态控制。在民用方面，它......
近二十年来,电极尺寸相当于或小于微米级的微电极技术已有了长足的发展,并显示了有别于常规电极的优越性能。以迅速发展着的微电......
随着时代的进步,社会的发展,人们的生活水平越来越高,我国社会经济的发展越来越迅猛,与此同时,我国科学技术的发展也取得了非常优......
利用微机械加工技术研制了具有三维结构的腔型传感器 ,双腔型工作电极与Ag AgCl参比电极集成在同一微芯片上。考察了微腔型电极的......
在过去的十几年里,随着微机械加工技术的惊人发展,微机电系统(MEMS)与光学技术的结合应用成为可能,这种结合体被称为微光机电系统(......
0引言微机电系统(MEMS)传感器是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器,惯性测量单元(inertial measurement unit,IMU)......
描述了可编程相位光栅光带结构微机械特性中的频响特性与回复时光带瞬态行为研究的原理,并介绍了相应的仿真结果.光栅样机采用硅微......
随着微传感器的广泛应用,微机械加工技术被越来越多地应用于传感器的制造工艺中.从微机械加工技术的关键工艺入手,分别对体微机械......
利用微机械加工技术、各向异性腐蚀技术研制了具有三维结构的微腔型传感器,微芯片(3×6mm2)具有三维腔体(腔深300μm,铂工作电......
微机械加工技术的发展为MEMS与微光学技术的结合应用提供了可能.MOEMS作为一个新兴的多学科交叉的研究领域正在兴起.着重介绍了建......
本文对近几年来运用单片制备方法,采用硅微机械加工技术(MEMS)工艺研制的电容式微传声器进行了详细描述.通过分析和研究指出,将微......
设计了一种检测模态和驱动模态具有相近品种因子的微机械陀螺.这种我们称之为栅型结构的陀螺由悬空弹簧将具有栅条的检测质量块与......
在低阻硅衬底上采用常规CMOS工艺和后处理微机械加工技术实现了微波MEMS共平面波导，并与高阻硅基平面结构共平面波导特性进行了比较......
将CMOS工艺和微机械加工技术相结合,制作出悬空式微桥支撑、薄膜支撑以及无悬空结构的微机械多晶硅薄膜电阻.通过对样品的电阻温度......
介绍了微机械加工技术的现状及其发展趋势。...
介绍了微机械加工技术的现状及其发展趋势。...
介绍了一种新型结构微机械陀螺的设计及制作.新型陀螺的驱动振动和敏感检测振动的阻尼均为滑膜阻尼,且几乎相同,惯性质量块为栅型......
简要介绍微机电系统中的微机械加工技术,主要包括硅表面微加工技术、硅体微加工技术、光刻及电铸和复制技术(LIGA)、准LIGA技术和......
本论文“微机械陀螺的材料和器件设计研究”主要围绕两个方面开展工作。 第一方面是中美合作项目“用于微传感器和微驱......
根据前面几期的讲解，我们了解到陀飞轮结构以宝玑式与飞行式最为经典，两者都是同轴式陀飞轮结构并装载了专门为此结构设计的特殊擒纵......
先进制造工艺是先进制造技术的核心和基础，一个国家的制造工艺的水平的高低，在很大程度上决定了其制造业在国际市场的竞争实力。本文......
微机械加工技术是在集成电路技术基础上研发出来的新兴技术,其在人们的生活和工作的不同领域中都发挥了非常重要的作用,因此受到了......
<正>我国是世界第一水产养殖大国,2014年产量达4300多万吨,近20年水产养殖产量翻两番,为我国城乡居民提供了1/3的优质动物蛋白,对......
本文对用微机械加工技术制成的薄膜型硅电容式微加速度计的国际最新研究动向进行了论述,列举了采用表面微机械加工、硅片键合、硅......
当今传感器的明显发展趋势是从传统的传感器设计和应用转向以微机械加工技术为基础的微传感器和智能化传感器的设计和应用，使智能结......
微型化是机电继电器最重要的发展方向之一,MEMS设计和制造技术的进展开辟了机电继电器微型化的崭新途径。本文系统介绍了典型MEMS......
<正> 一、传感器的地位和作用现代信息产业的三大支柱是传感器技术、通信技术和计算机技术,它们分别构成了信息技术系统的“感官”......
金刚石薄膜是一种蕴涵巨大应用潜力的新型电子功能材料,但是它极高的硬度和化学稳定性使其难以被加工成型,因此,金刚石薄膜的微机......
<正>微机电系统(MEMS:Microelectro-Mechanic System)是一个集成化系统,该系统既有传感单元,又有中央处理控制单元及执行相应操作......
本文介绍了世界微电机发展现状及我国微电机的发展历程和现有水平，指出了微电机技术的发展趋势和我国微电机行为今后发展的工作重点......
本文主要探讨微型模具的制作技术,重点介绍LIGA加工模具的技术,包括其原理、工艺特点等,简单介绍其他加工微模具的方法。......
应用微机械加工技术制作微型模具,再通过微型模具成形微型制件,具有简单、经济、制件质量好及生产效率高等优点。基于制造微模具的......
设计了一种新型的硅微聚合酶链式反应（PCR）芯片。该芯片采用掺杂半导体作为加热电阻来提高加热效率,改善反应腔内的温度均匀性。集成......
随着微机械工业的越来越成熟,继压力传感器后,MEMS加速度传感器也成为了成功的商业化器件。本文对微机械加速度传感器进行了设计分......
传感技术是信息时代信息获取、处理和传输的源头,是“最高意义上的自动化”的技术基础,本文通过概述当今世界上传感器技术的发展和......
针对实现红外技术在夜间和一些死角方面应用的视觉辅助系统,把微机械加工技术和制作微细红外吸收膜的工艺应用到CMOS技术中,使热电......
基于微机械加工技术的压阻式加速度传感器是一类很重要的传感器。传感 器的量程最低可到±2g，最高±500g，线性度一般为0.2%......
结合已报道的微型光谱仪,介绍了微电子机械系统技术在多种微型光谱仪中的应用,详细阐述了这些微型光谱仪的原理和相应的制作工艺,......
微机械加工技术发展概况（二）鲍敏杭复旦大学电子工程系，传感技术国家实验室上海市２００２３３７表面平整化技术表面平整化技术是为大规模集成电路......
研究了一种新型的谐振式硅微加速度传感器，对其结构和工艺进行设计，并制作出了一系列不同结构和尺寸的这种器件。该加速度传感器在制......
微流控芯片（Microfluidic chip）是分析化学发展的热点领域,也是微全分析系统（μTAS）的重要组成部分。微流控芯片分析系统在结构上的重......
文中介绍通过采用MEMS(micro electro mechanical systems)技术制造的硅压阻力敏元件结合智能集成化信号调理技术设计了适合批量制......
微电子机械系统(MEMS)技术是一个新兴的技术领域,文中介绍了该技术的基于概念、技术特点和关键技术,讨论了微电子机械系统的研究领......
微电子机械系统技术的特点是可使制品微型化、集成化并以硅作为加工材料。该技术可分为体微机械加工、表面微机械加工、金属微机械......
