微细电铸相关论文
微小结构在航空航天、电子工业、信息通讯等领域具有广阔的应用前景。电铸作为一种利用金属电化学阴极沉积原理来制备零件的精密特......
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金属微细尺度(Meso/Micro)结构与零件(如微齿轮、微轴、微栅电极等)是微机械(MEMS)、电子产品、精密仪器仪表等高新技术产品的重要......
微细电铸技术是实现和推动高技术产品优质化、微型化和智能化的主要支撑技术之一。但电沉积缺陷难控问题往往严重弱化微细电铸件的......
微细制造技术被广泛地认为是21世纪最重要的技术之一。随着微机电系统(Micro Electro Mechanical System, MEMS)的发展,对微机构所......
将超临界特性与电沉积技术有机结合,采用超临界CO2电沉积方法制备高性能纳米晶粒沉积层,是制备纳米材料(铸层)的一种新方法,为微细......
为改善高深宽比金属微结构的电铸成型质量,在分析微细电铸的流场特性的基础上,深入研究了铸层厚度的不均匀现象及搅拌方式、流场分......
将纳米稀土La2O3作为添加剂,研究其在微细电铸镍工艺过程中的影响.采用SEM等现代分析手段对微细铸层微观结构和性能进行了测试.结......
提出了一种制备微流控芯片模具的方法。首先,在分析微细电铸流场特性的基础上研究了流速对微流道传质的影响;然后,讨论了脉冲频率......
鉴于微机电系统（MEMS）承载的特殊功能，其制造技术成为当前研究的热点。微细电铸以其固有的诸多技术优势，成为制造复杂结构MEMS零部件的......
具有超深或高深宽（径）比（HAR）微结构特征的高质量电铸，是制造金属微机械器件和半导体通孔金属化的技术关键之一。开发了一种新的电铸技......
微机电系统的发展，对微细加工技术提出了更高的要求。目前常用的微细制造技术本质是基于掩模光刻的二维半微加工技术，难以进行真三维......
微细电铸的Over-plating过程对电铸成型金属器件的质量有直接影响。通过有限元方法对微细电铸过程的电场进行建模分析,利用迭代边......
在分析微细电铸的电场与流场特性的基础上,深入研究了铸层厚度的不均匀现象及搅拌方式和电流密度对微细电铸质量的影响。由于高深......
设计并制作了微注塑模具型腔.利用无背板生长法,采用UV-LIGA套刻技术和掩膜腐蚀技术,直接在合金钢基底上制作具有微阵列结构、微注......
试验研究了UV-LIGA各工艺环节（包括前后烘、曝光、显影、去胶、电铸等）对金属基片上制造金属微结构器件质量的影响，并组合优化了操作......
为改善高深宽比金属微结构的电铸成型质量，采用有限元方法分析微细电铸的电场和流场的分布特点，及搅拌方式、电场和流场分布对微细电......
为提高电铸微器件的力学性能,研究了镍-纳米氧化铈颗粒复合电铸工艺,分析了电铸参数(电流密度、纳米氧化铈颗粒浓度及转速)对沉积......
试验研究和分析了电解液施加超声搅拌作用时不同声强对试样形貌质量的影响，优选了工艺参数，在此基础上，进行了超声微结构电铸试验，并制......
随着MEMS技术及微细加工技术的发展,金属微细阵列网板得到了越来越广泛的应用,如电子显微镜的透光栅网、喷墨打印机的喷板、纺织机......
电铸是利用金属离子在阴极上沉积来制造金属制品的增材加工过程,其加工过程是以离子的形式进行的。由于金属离子的尺寸非常微小,小......
ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清......
研究了镍的直流电铸和脉冲电铸的不同形式电流及其参数，同时，结合铸层表面形貌的影响分析，发现脉冲电铸在采取相对较大电流密度时，电铸......
概要地论述了多种可用于纳米级微细加工的特种加工技术，诸如电子束加工、离子束加工、激光束加工、隧道式近场放电加工、微细电火花......
MEMS (Micro Electromechanical System)技术作为新兴技术,受到学术界、产业界和政府部门的极大重视,已经在信息、精密机械、汽车......
微细电铸过程中,阴极表面的电流密度分布直接影响沉积层的质量。通过对电沉积基本原理的分析,得到了电流密度及其分布对电沉积过程......
21世纪以来,科学技术日新月异,传统的分析检测技术也历经着深入的变革。其中,分析设备正经历微型化、集成化和便携化。微流控芯片......
屏蔽阳极模板随动式微细电铸技术是一种新颖的金属微结构加工方法,具有工艺简单、成本低以及高深宽比微结构加工能力的优点.电沉积......
分析了现有的精细金属网板制造工艺的优缺点,提出了采用基于SU-8光刻胶的UV-LIGA技术来制备大厚度高开孔率精细金属网板的工艺方法......
