微结构器件相关论文
We propose novel double-notch-shaped microdisk resonator-based devices with gapless waveguide-to-microdisk and inter-cav......
随着微型化进程的深入,将有越来越严重的微尺度传热问题需要解决。在微尺度测量方法中,3ω法是一种新的交流测量技术,这种技术将微......
微结构几何量特征参数与其构成的器件的性能是密切相关的?随着科学技术的发展,越来越多的微器件是由微结构阵列来实现相应的功能的......
薄膜力学性能是当今MEMS技术中一个很重要的参数，对于微结构器件的研究和应用有很大的影响。半个多世纪以来，鼓膜实验(Bulge test)测......
有机光伏太阳能电池具有易制备、成本低、可制成大面积柔性器件等优势；然而效率和稳定性这两大关键领域备受国内外研究学者的关注。......
当今的社会正在步入高度信息化社会,人们已认识到超高速率、超大容量信息系统中用光子作为信息的载体是继电子之后的最佳选择.低损......
讨论了光刻热熔成形工艺灰度掩模技术结合离子束蚀刻制作面阵尖形微结构器件的问题,分析了几种凸尖及凹尖结构抗入射激光烧蚀的能......
简介了微电子机械系统MEMS的基本概念、构成及显著特点,并对微电子机械系统的典型器件如传感器,执行器等作了介绍与分析,提出了微......
试验研究了UV-LIGA各工艺环节（包括前后烘、曝光、显影、去胶、电铸等）对金属基片上制造金属微结构器件质量的影响，并组合优化了操作......
