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气浮支承技术相关论文
气浮支承动态特性及其微振动研究
超精密制造装备代表着精密制造业的最高发展水平,是衡量一个国家精密制造实力的重要标志之一。面对超精密制造装备的重大需求,随之发......
学位
机械制造
气浮支承技术
动态特性
微振动
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