灰阶掩模相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

灰阶掩模相关论文

折射型微透镜列阵制作的一种新途径

为探究吕家坨井田地质构造格局,根据钻孔勘探资料,采用分形理论和趋势面分析方法,研究了井田7......

期刊

微透镜列阵灰阶掩模激光直写

HBES玻璃制作多阶相位结构灰阶掩模

多阶相位器件是一类具有极高衍射效率的光学元件,主要应用于光互连、光通信、平面光学、折衍混合光学等方面.本文采用电子束直写曝......

期刊

HEBS玻璃灰阶掩模电子束直写多阶相位结构

数字光刻成像算法及其掩模优化方法研究

近年来,基于数字微镜器件(DMD)的无掩模数字光刻技术引起了人们的极大的关注。DMD作为数字光刻系统的掩模发生器,具有灵活、低成本......

学位

数字光刻部分相干成像灰阶掩模掩模优化逆光刻技术共轭梯度算法

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