数字光刻相关论文
阐述数字微镜技术，基于数字微镜器件的光刻机特性，包括降低掩模成本、减小曝光关键尺寸CD，探讨基于数字微镜器件的光刻机技术应用。......
提出了一种基于数字微镜阵列的微立体光刻系统，并在COMSOL Multiphysics软件中进行了系统光路的建模与仿真。在分析微立体光刻系统......
无掩模数字光刻技术的发展,给光刻领域带来了极大的创新。它的技术原理是在DMD微镜上显示数字掩模图形,可以有效的避免掩模版制作......
自从1958年,美国第一次成功把光刻技术应用于集成电路制造中,光刻技术就在不断发展。光刻技术是用于制作半导体器件和集成电路的,......
