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碳化硅晶体生长相关论文
4英寸碳化硅晶体生长温场控制研究
温度场对于碳化硅(SiC)晶体的生长至关重要[1-2],其中轴向温度场主要控制晶体生长的速度,径向温度场则主要控制晶体的多型和应力......
会议
碳化硅晶体生长
温度场
控制晶体生长
高质量
应力分布
实验分析
生长过程
保温设计
拉曼光谱在SiC晶体生长和结构分析中的应用
碳化硅(SiC)晶体是重要的间接宽带隙半导体材料之一,具有优良的物理和化学特性,很早被证明是一种耐高温、高强度、耐磨损的应用材料,......
学位
碳化硅晶体生长
拉曼光谱
多种晶型
结构分析
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