薄膜体声波谐振器(FBAR)相关论文
工业生产和生活出行排放的各种有毒有害气体对人们健康的工作、生活来说是很大的威胁。研究有毒有害气体检测以及识别技术对营造健......
近年来,随着5G移动通信技术以及柔性电子技术的革新浪潮的到来,人们对电子元器件的微型化、高频带宽化、集成化以及柔性化的需求越......
该文介绍了一种单端口、端口阻抗50Ω的S波段薄膜体声波谐振器(FBAR)陷波器,其采用了梯形拓扑结构与外围匹配电路相结合的方式。对......
期刊
薄膜体声波谐振器（FBAR）是优良的射频频率器件。用基本Mason模型对FBAR器件进行建模,并分析阐述了FBAR射频滤波器的结构和设计方法。......
从MBVD等效电路模型出发,研究了三种不同级联方式下FBAR滤波器的滤波效果,同时选取了其中滤波效果更好、应用更为广泛的梯形结构,......
设计了一种膜片上薄膜体声波谐振器（FBAR）结构的伽马辐照剂量计。采用FBAR替代传统伽马辐照检测元件来实现伽马辐照剂量检测的新方法......
采用中频磁控溅射法,在硅基上制备了X波段薄膜体声波谐振器(FBAR)滤波器用AlN压电薄膜。对AlN薄膜进行了分析表征,结果表明,AlN压......
薄膜体声波谐振器（FBAR）电极层和压电层的厚度、材料是影响谐振频率的主要因素,确定各层的厚度和材料可得到期望的谐振频率。通过推......
主要利用Mason等效电路模型对加入介质声损耗的薄膜体声波谐振器输入阻抗公式进行了推导，并利用该结果对薄膜体声波谐振器的谐振特......
牺牲层释放是空腔型薄膜体声波谐振器（FBAR）工艺中形成空腔结构的关键步骤,牺牲层释放的效果直接决定了空腔型FBAR的谐振特性。根据......
提出了一种易于使用的薄膜体声波（FBAR）滤波器的4步设计方法,以一种FDD-LTE Band7的Rx滤波器为例展示了该方法的应用流程。第一步,根......
现代无线通信技术推进了高频元件的相关发展,微纳技术的迅速发展和新型功能材料的出现以及压电薄膜制备技术的日益成熟使高性能频......
近些年来,新兴消费电子的巨大需求带动了基于半导体微纳加工技术的MEMS产业的蓬勃发展,薄膜体声波谐振器(FBAR)作为MEMS领域增长飞......
通过磁控溅射靶材的成分调控和一系列优化过的微电子机械系统（MEMS）工艺,成功研制了基于氧化锌（ZnO）压电薄膜的固体装配型薄膜体声波谐......
该文介绍了F基气体电感耦合等离子体(ICP)干法刻蚀系统对金属Mo薄膜侧壁角度的影响。通过调节ICP干法刻蚀设备的射频功率、ICP离子......
为了解决磁控溅射膜的剥离问题,该文研制了一种新型的双层胶剥离技术。通过调整双层光刻胶的坚膜时间、坚膜温度和显影时间,制备出......
期刊
由薄膜体声波谐振器构成的滤波器,其带宽受压电材料机电耦合系数的影响,较难实现窄带滤波器设计。使用ADS射频仿真软件设计了一种......
为了表征所制备的L波段通孔型AlN薄膜体声波谐振器(FBAR)的性能,使用射频探针台和矢量网络分析仪测得FBAR的S参数,扫频步长为1 MHz......
采用磁控溅射法制备了AlN薄膜并研究了射频（RF）等离子清洗对AlN薄膜结晶取向度的影响,实验表明,RF等离子清洗基片3min后AlN薄膜c轴取......
随着微电子产业的不断发展,特别是可穿戴设备的兴起,市场对电子元器件的要求越来越严苛。薄膜体声波谐振器(FBAR)作为一种高频器件......
近年来随着可穿戴设备等智能硬件的兴起,人们对电子元器件的微型化、柔性化、透明化的需求越来越迫切。薄膜体声波谐振器(FBAR)是......
薄膜体声波谐振器(FBAR)作为一种新颖的射频MEMS器件,近年来受到了广泛的关注与研究。由于FBAR具有体积小、谐振频率高、与CMOS工......
针对有效机电耦合系数（k2eff）的两种影响因素-薄膜体声波谐振器（FBAR）的电极/压电层厚度比与压电层薄膜的c轴取向,分别建立了厚度比可......
研制了一种工作于C波段的薄膜体声波谐振器(FBAR)滤波器。首先利用FBAR的一维Mason等效电路模型对谐振器进行设计,然后采用实际制......
