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集成电路是信息社会的基础设施,集成电路制造的核心工艺是光刻工艺,光刻胶的国产化是我国集成电路产发展的重要保障。本文介绍了HT......
电子束曝光技术是制备纳米精细结构的关键技术,在纳米科学研究、微纳原型器件制备、生物医学等领域具有广泛的应用。本论文以电子......
随着科技的发展,微流控技术已逐渐成为科研工作者研究生物、医药、化学等领域中不可取代的技术手段。由于数值仿真技术及相关理论......
摩擦和磨损在日常生活和各种工业应用中随处可见,摩擦引起的磨损会导致包括表面损坏以及设备性能和可靠性的下降在内的各种问题。......
磁性隧道结磁场传感器作为一种非接触式传感器,在自动化技术、卫星定位、精密测量等领域有着广泛的应用,目前在磁阻变化率等磁性能......
金刚石作为新兴的超宽带隙半导体材料的代表之一,具有载流子迁移率高、导热系数高等一系列优点。在金刚石材料研究方面,目前高品质......
金属纳米线因其在电学、磁学、光学研究领域具有较为独特的性质,近年来被国内外学者采用多种方法制备,并且应用在越来越广泛的领域......
随着MEMS的发展，微能源逐渐成为MEMS应用中的一个关键问题。现有的各种微能源由于其体积、使用寿命、环境适应能力、集成性等方面的......
玉石矿床学是连结玉石地质学与石鉴定、评估以及优化处理合成等研究内容的纽带,是个年轻的学科,且有很多的领域处于研究的空白区域......
研究了常用的国产BP212正型紫外光刻胶和光学曝光机在利用剥离工艺制备电极中的适用性.结果表明,采用国产的光刻胶和曝光设备完全......
