非选择性图形外延相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

非选择性图形外延相关论文

基于MBE的SiGe非选择性图形外延技术研究

针对siGe BiCMOS集成中材料低温特性和高温工艺的矛盾，研究了一种基于MBE的SiGe非选择性图形外延技术，并进行了扫描电子显微镜（SEM）、......

期刊

SiGe BiCMOS 非选择性图形外延 MBE

SiGe BiCMOS集成器件设计与关键工艺研究

本文结合1.5μm SiGe BiCMOS的实际工艺条件,提出了基于分子束外延技术（MBE）的SiGe BiCMOS器件结构,并针对其关键参数进行了优化设计......

学位

SiGe BiCMOS HBT 基区杂质外扩非选择性图形外延

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