氧化锌(ZnO)因其独特的物理性质而备受关注,如宽直带隙(3.37 eV),高激子结合能(60 meV),这些特性使ZnO广泛应用于太阳能电池、激光......

本研究利用热氧化辅助磁控溅射法在石英玻璃、蓝宝石（Al2O3）衬底上制备了Al-N共掺ZnO:Co薄膜。靶材选用ZnAl合金靶（纯度为99.99％，Al的百......

利用射频磁控溅射技术在石英玻璃上制备了ZnO:Al薄膜,继而N离子注入实现薄膜的Al-N共掺杂,随后进行了不同温度和时间的热处理。并......