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Al掺杂ZnO(AZO)薄膜相关论文

衬底温度对共溅射制备AZO薄膜光电性能影响

以Al金属和ZnO陶瓷作为溅射靶材,采用直流和射频双靶磁控共溅射的方法在玻璃衬底上制备Al掺杂ZnO（AZO）透明导电薄膜,采用X线光电子能......

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Al掺杂ZnO(AZO)薄膜共溅射衬底温度光电性能蓝移 AZO thin films co-sputtering substrate temperatu

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