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基于压电陶瓷作动器的自适应主动隔振研究
近年来,随着超精密加工、检测与微装配等技术的快速兴起和发展,微振动对精密加工和检测设备精度的影响变得极其突出。以往传统的被......
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自适应主动隔振
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