用氮离子束分别原位溅射 Ｔｉ和石墨靶的方法制备了 ＣＮｘ／ＴｉＮｙ多层膜用 Ｘ射线光电子谱分析 ＣＮｘ层中 Ｃ和Ｎ的键合状态，用透射电镜观察薄膜中的相形貌，用电......

对等离子体增强热丝化学气相沉积(PE-HFCVD)Si衬底上合成的C-N薄膜进行了研究.利用X射线衍射(XRD)、反射式高能电子衍射(RHEED)、......