离子束溅射相关论文
Pd及其合金氢分离膜因高氢选择性、高氢渗透性能的特点被用于氢气分离及提纯的研究,但钯受矿产资源限制导致生产成本高,难以实现大......
随着激光致盲武器的快速发展,与之对应的激光致盲防护技术逐渐成为了一项重要的研究。作为防护材料之一的二氧化钒（Vanadium Dioxid......
针对汗液、唾液等生理样本中葡萄糖分子浓度的非侵入式电化学分析,不仅可以大幅度降低目前常规静脉或指尖采血测量所产生的感染风......
二氧化钒薄膜具有良好的金属-绝缘相变的特性,在外界激励（电、热、光等）的作用下可以在极短的时间发生金属-绝缘相变,相变前后VO2的......
Al2O3 films are deposited using ion beam sputtering (IBS), ion beam reactive sputtering (IBRS), and electron beam evapor......
以离子束溅射沉积(IBSD)方法制备了Al2O3、Nb2O5单层膜，用红外可变角度光谱椭圆偏振仪(IR-VASE)测试了薄膜的光学常数。用原子力显......
针对1 080 nm连续激光光学系统中反射镜的需求, 设计了低损耗高反膜膜系, 优化了膜系中的电场分布, 对高反膜元件工艺体系进行了控......
采用离子束溅射与离子束辅助沉积技术在医用Ti6Al4V舍金表面制备了双层类金刚石薄膜。分别用原子力显微镜、扫描电子显微镜、Raman......
SiO2薄膜是重要的低折射率材料之一,针对离子束溅射(IBS)和电子束蒸发(EB)的SiO2薄膜,采用红外光谱反演技术获得在400—1500 cm 1......
基于正交试验方法,系统研究了用离子束溅射法制备SiO2薄膜其折射率、应力与工艺参数(基板温度、离子束压、离子束流和氧气流量)之......
阐述了包络法、色散模型拟合法、K-K变换法等常用的光学常数获取方法,并分析了每种方法的局限性。针对光学薄膜普遍在中红外波段存......
纳米线和量子点的载流子的运动分别在两个和三个方向上受到限制,展现出优异的光学性能,在纳米技术领域已成为研究的热门材料。Si纳......
本文采用离子束溅射沉积(IBSD)法,在铍青铜衬底上分别制备了 Fe-Ga-Al-Y MF(magnetostrictive film)和 Fe-Ga-Al-Y/TbDy-Fe 多层膜......
氢能作为一种清洁、高能、来源丰富的可再生能源,在氢能发电、氢燃料电池等诸多领域具有广阔的应用前景。但氢能产业化进程受制于......
氢能是一种资源丰富、高能、无二次污染的“绿色能源,氢能的使用受到氢能的制备和储存的制约。贵金属Pt的催化活性优异,但容易中毒......
稀磁半导体可以同时具有电子的电荷和自旋两种属性,使多种学科得以有机结合。磁性元素掺入Ⅳ族半导体内制备的稀磁半导体材料能够......
学位
石墨烯具有超高的机械强度,良好的导热性能和透光率(97.7%),除此之外,还拥有独一无二的电学性质——高达200000 cm2V-1s-1的电子迁......
本文采用离子束溅射沉积(IBSD)法,在铍青铜衬底上分别制备了 Fe-Ga-Tb MF(magnetostrictive film)和 Fe-Ga MF。对不同磁场环境下......
美国加州Coherent Auburn集团公司采用离子束溅射法在超光滑表面进行离子束溅射加工,使反射镜性能稳定耐用。这种反射镜可用于激......
提出了光学薄膜温度场的概念，研究分析了薄膜光学性质和热，物性质对其温度场的影响，给出了相变光盘薄膜和高功率激光反射膜的具体设计......
利用ＸｅＣｌ（３０８ｎｍ）脉冲准分子激光淀积技术在功率密度５×１０８Ｗ／ｃｍ２、室温、真空度１０－３Ｐａ的条件下，制备出不含氢成分的类金刚石薄膜，研究了类金刚石薄膜的特性及其随......
在用小角射线衍射研究离子束溅射法制备的多层膜基本结构时 ,提出了一个可以计算界面过渡层厚度公式。由实验曲线和文中提出公式得......
必须承受高功率激光输出的光学元件一般都需要涂高功率薄膜。这些涂层可以是反射、透射、偏振或分束。重要的是要指出，根据应用的不......
研究了离子束溅射(IBS)制备的Nb2O5薄膜的光学特性、应力、薄膜微结构等特性,系统地分析了辅助离子源的离子束能量和离子束流对薄......
利用离子束溅射结合后退火处理的方法制备了WO3-x(0≤x≤1)薄膜,系统研究了不同退火气氛、退火温度和退火时间等条件对WO3-x薄膜的......
采用离子束溅射技术在反射率大于99.999 7％、中心波长(λ)为635 nm的35层高反波堆表面镀制2M(光学厚度为λ/2)的Al2O3低损耗薄膜.测......
借助于原子力显微镜研究了离子束溅射沉积工艺中入射离子能量对制备的Ti薄膜表面形貌的影响.对薄膜表面高度数据进行相关运算,发现......
中红外2-6μm波段是红外探测器和化学激光器的主要工作波段之一,应用在这一波段的光学薄膜材料主要是氟化物、硫化物和硒化物等软......
金属Cu薄膜有良好的导电和导热性能，在集成电路和微电子等方面都得到了广泛的应用。ZnO材料是一种宽禁带n型半导体，广泛应用于压电传......
在飞秒激光系统中,色散补偿是一项极为关键的技术,它直接制约着飞秒脉冲的产生。在各种色散补偿器件中,色散补偿薄膜因为其色散补......
色散镜是超快激光系统中一种不可缺少的、至关重要的器件,伴随着超快激光的飞速发展,色散镜已经成为光学薄膜领域的研究重点。本文......
波状多层膜结构是一种二维光子晶体。电磁波在其结构内传播时，由于其能带结构的差异，TE模和TM模并沿着不同的方向传播，实现偏振分束。......
近年来，随着微电子器件小型化的发展，迫切需要有相应尺寸的微型供能系统与之相适应，电源系统的微型化是微电机械系统得以进一步广泛应......
AlN薄膜具优异的物理化学性质，在光学、电学、力学和声学等方面有广阔的应用前景。尤其是(002)取向的AlN薄膜具有表面声波速率高，压......
学位
真空镀膜机是电子工业器件生产和研制过程中广泛使用的设备。随着计算机技术、自动化技术和通信技术的迅速发展，生产自动化也越来越......
该文采用VO粉末靶离子束溅射,金属钒离子束反应溅射和金融钒离子束溅射三种方法制备了氧化钒材料,通过不同条件下的退火实验.研究......
我们的研究工作是对碳材料用于光伏太阳电池上的探索,分为三个阶段完成,第一个阶段,采用离子束溅射技术沉积a-CN薄膜,借助激光Rama......
传感器是物联网技术发展的核心组件之一,产业升级和薄膜技术发展要求磁性传感器具有高灵敏度、小型化、易集成、低成本等特点。目......
本论文研究在束流密度为20μA/cm2的离子束溅射下，Si(110)表面形貌随温度和离子能量的变化；研究离子束溅射下，Si(100)表面形貌随束流......
本论文主要研究了在压力传感器中有重要应用前景的NiCr合金薄膜的制备、表征、微观结构和电学特性。包括如下几个方面内容：首先，回顾......
纳米结构材料表现的奇妙特性，以及它们在光、电、磁和生物化学等各个领域展现的非凡应用前景，激励着人们对这一神奇的领域进行更加深......
本文首先以固相反应法制备了固体氧化物燃料电池（SOFC）的阴极材料Ln0.5Sr0.5CoO3-δ（Ln=La，Pr，Nd，Sm，Eu）的超细粉体材料。研究了不同稀土元......
