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基于计算全息图的非球面高精度检测技术研究
极紫外投影物镜为反射式光学系统,受限于极紫外多层膜的反射率,极紫外投影物镜必须采用最少的反射镜面实现应有的光学成像性能,采......
学位
非球面
计算全息图(Computer-Generated Hologram
CGH)
误差分析
非球面面形检测
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