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Al/SRO/Si结构中横向电压作用下的电荷俘获效应
利用Al/SRO/SiMOS。对富硅二氧化硅(SRO)材料在横向电压作用下的电荷俘获效应进行了研究。用LPCVD法在n型Si衬底上沉积SRO材料,通过C......
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富硅氧化硅
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