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MEMS用硅基永磁薄膜阵列设计与制备研究
本文利用磁场解析计算方法研究了永磁薄膜阵列的磁场分布,理论上计算了薄膜阵列单元的尺寸和间距对永磁薄膜阵列工作点的影响规律,计......
学位
永磁
薄膜
阵列
有限元
电镀
CoNiMnP
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