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高分辨率I-line正性光刻胶的制备及应用性能研究
利用两种不同重均分子量的改性酚醛树脂(PF)与一种三个酯化度的四羟基二苯甲酮―重氮萘醌磺酸酯光敏剂(PAC)按比例配制,加入适量助......
期刊
正性光刻胶
I-line
重氮萘醌磺酸酯
改性酚醛树脂
二苯甲酮
应用性能研究
重均分子量
感光性能
萘醌
光敏剂
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