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氧对IZO低压无结薄膜晶体管稳定性的影响
本文在室温下制备了无结结构的低压氧化铟锌薄膜晶体管,并研究了氧分压对其稳定性的影响.氧化铟锌无结薄膜晶体管具有迁移率高、结......
期刊
薄膜晶体管
IZO
氧化铟
阈值电压
栅介质
无结
场效应
亚阈值
双电层
透明导电薄膜
深紫外激光辐照对自燃烧法制备IZO薄膜光电性质的影响研究
透明导电薄膜作为触摸屏、平板显示器和太阳能电池等光电器件的重要组成部分,其制备工艺直接影响到光电器件的成本和效率。与真空......
学位
透明导电薄膜
自燃烧法
深紫外脉冲激光
IZO
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