真空灭弧室以其环保和免维护等优点被广泛应用于配网设备,真空电弧弧后微观特性是表征真空灭弧室开断性能的重要参量。当弧后残余......

等离子体在微电子工业及半导体薄膜材料生长等方面有着广泛的应用。对不同条件下的辉光放电等离子的放电机理、特性的了解及诊断是......

研究了以微波ECR等离子体源作为等离子体发生器的空间环境模拟装置.试验以氩气为放电气体,通过分析气压、微波功率、磁场等放电条......

近年来,随着对航天器推进系统性能要求的不断提高,电推进以其独有的优势引起了航天界的兴趣和重视,并越来越多的被应用到空间任务......

随着航天技术不断发展，传统的化学推力器已经难以满足深空探测的需要,具有比冲高、质量轻、推力小和控制精度高等优点的电推力器逐......

金刚石具有众多优异的性能，而低压化学气相沉积(CVD)技术的发展为金刚石材料的广泛应用提供了极佳的机会。金刚石膜的CVD过程可以使......

感应耦合等离子体源（Inductively Coupled Plasma Source, ICPS）是低气压下产生大面积、均匀稳定等离子体的一种重要方式。目前已被......

随着低温等离子体的广泛应用，对等离子体各项参数的控制越来越受到关注，等离子体Langmuir探针诊断是一种传统的测量等离子参数的实验......

脉冲磁过滤阴极弧等离子体沉积由于能很好地过滤液滴,沉积几乎所有金属及其合金薄膜材料,尤其能沉积极有应用前景的类金刚石膜及用......

本实验采用自制Langmuir探针和发射光谱对柱面射频感应耦合氩气等离子体进行了诊断。实验中，研究了在线圈之间什么也不加时等离子体......

在现代半导体行业中，低温等离子体常应用于薄膜生长、基片刻蚀和表面改性等。相比于感应耦合等离子体源而言，容性耦合等离子体源的结......

低压低温等离子体作为重要的材料加工手段,在微电子、显示技术、超大规模集成电路工艺以及新材料等领域中得到广泛应用。其中在等......

射频感性耦合等离子体（Inductively Coupled Plasma，即射频ICP）具有放电气压低、密度高、装置简单以及空间均匀性易于控制等优点，因此......

为揭示磁控溅射辉光放电等离子体参量对Si薄膜沉积过程的本质影响,采用Langmuir探针于不同的靶电流、靶基距和氢分压条件下对直流......

采用光谱诊断法和Langmuir单探针法对射频感应耦合Ar气等离子体特性进行分析.通过光栅光谱仪研究了低气压下Ar气等离子体的光谱强......

分别通过Langmuir探针测量和动力学模型模拟方法研究了射频感应耦合Ar-N2等离子体中电子能量分布、电子温度、电子密度等物理量随N......

Langmuir探针诊断技术是一项被广泛应用的等离子体参数测试技术。文中介绍了一种使用软件控制的扫描电源的设计,详细阐述了系统硬......

利用等离子体增强化学气相沉积技术、以SiCl4/H2为源气体可以低温快速沉积高质量的多晶硅薄膜。采用加热可调谐Langmuir探针技术,......

为了满足等离子体实验教学的需求,开发了基于VB的Langmuir单探针、双探针仿真实验;提供了接近真实的操作界面,通过介绍实验原理、......

为了探索微波等离子推力器(MPT)羽流的特性,建立了一套Langmuir探针诊断系统并对MPT的羽流进行了诊断,得出了MPT喷管羽流的电子温......

简要介绍了Langmuir探针扫描电源的工作原理以及硬件设计．阐述了Windows98操作系统平台的内棱结构和VxD设备驱动程序的基本原理。介......

荧光灯阴极区对维持放电、决定灯的寿命起着至关重要的作用.该文介绍了荧光灯阴极区的实验和理论研究上的进展.......

文章对等离子体诊断的常用方法及适用范围作了介绍,并认为对任何能反映等离子体性质的物理量的测量方法,都可以作为等离子体诊断的......

用Langmuir探针对射频（13．56Mnz）感应等离子体进行了诊断，给出了Ar等离子体轴向和径向参数随气压的变化。采用发射光谱测量了等离子体......

介绍了一套以积分网络为基础的新型Langmuir探针系统。该系统使用积分网络进行数据采集，在数据采集过程中同步完成模傲转换，有效地抑......

本文介绍了三种Langmuir探针在等离子体诊断中抗干扰的方法:积分平均技术--采用积分电路,有效抑制波动干扰,提高探针信噪比;滤波器......

为了获得等离子体抛光实验平台中氩等离子体的参数,利用Langmuir单探针与发射光谱法对其进行诊断分析,根据Langmuir探针原理计算了......

采用Langmuir探针、扫描电源和微机数据采集系统相结合，实时获得了等离子体的伏安特性曲线及参数计算结果。本数据采集系统是一个虚......

为研究实验参数对螺旋波诱导的低压氢等离子体状态的影响,用Langmuir探针对等离子体伏安特性曲线进行了原位诊断,采用双曲正切函数......

采用磁场完全闭合状态和不闭合状态两种磁场组态分别沉积Cr镀层,并利用Langmuir探针诊断其放电等离子体,测量了离子密度、电子密度......

某些精密设备结构复杂、工作环境恶劣，需要用有限元法对其温度场、应力场等进行分析，确保强度的可靠性。以某诊断设备中的Langmuir探......

在金刚石膜的化学气相沉积过程中，使用脉冲电源激励的微波等离子体可以提高金刚石膜的沉积速率或金刚石膜的质量。本文使用Langmuir......

本文首先对感应耦合等离子体ICP(Inductively Coupled Plasma)做了详细的介绍,阐述了溅射沉积技术的发展和应用；并介绍了几种典型的......

在分析软硬阈值去噪特点的基础上，提出一种改进的小波阈值函数。根据Langmuir探针I-V特性曲线的特点，提出一种改进的标准差估算方法......

研究相近碰撞速度、不同入射角度超高速碰撞产生的瞬态等离子体的电子温度随时间的变化规律.设计了瞬态等离子体诊断的扫描Langmui......

综述了国外在超高速碰撞产生等离子体的电磁特性研究方面的现状,主要包括电子温度、等离子体的粒子密度、等离子体的振荡频率及产......

利用二级轻气炮实验平台开展了2A12铝材料的超高速碰撞实验，并设计了高速摄影系统和Langmuir探针诊断系统，对实验中超高速碰撞产生的......

本文的研究内容分为两大部分:第一部分研究了一种新型的薄膜制备技术,即会切场约束ICP(Inductively Coupled Plasma)增强非平衡磁......

在微波等离子化学气相沉积装置中，分析了反应室内等离子密度空间分布以及等离子密度与气压和功率的关系，还分析了Hα（656．3nm）的峰值强......

阐述了Langmuir探针测量空间等离子体的基本原理和方法。分析了利用Langmuir探针在空间等离子体探测应用中航天器、空间环境对探针......

使用发射光谱诊断法和Langmuir探针诊断法，测量了螺旋波激发等离子体化学气相沉积装置中产生的氢等离子体的发射光谱和电流-电压曲......

本文首先对磁控溅射薄膜沉积技术的发展和应用做了详细阐述。介绍了几种典型的溅射沉积方法及它们的特点,陈述了磁控溅射技术在薄......

1903年,一个偶然的机会,Wehnelt.A发现高温下当铂丝上粘有碱土金属氧化物时,发射电流大大增加,这就是氧化物阴极的起点。因氧化物......

溅射环境下基于薄膜的沉积速率和Langmuir探针测出的基片位置处离子流通量量化了单位时间内基片表面微区所接受的溅射中性原子的轰......

电子密度是低温等离子体的重要参数之一,仅采用发射光谱或Langmuir探针一种诊断方法,很难测量出该参数及其分布。针对这一问题,提......

感性耦合等离子体源（Inductively Coupled Plasmas, ICP）因能够在低气压下获得大面积、均匀性好且高密度的等离子体,因此,被广泛地应......

采用Langmuir探针法结合发射光谱法对螺旋波诱导的低压氢等离子体进行诊断,根据Druyvesteyn方法和日冕模型分析电子能量几率函数(E......

采用朗格缪尔探针诊断装置测量电子能量和等离子体密度,利用发射光谱诊断装置测量发光强度,以判断实验腔室内的放电模式.结果表明:......

采用Langmuir静电单探针和双探针诊断技术对微波电子回旋共振(ECR)装置产生的低温低气压氮气等离子体进行诊断.测量了等离子体密度......

利用Langmuir探针诊断方法,得到了放电气压0.1Pa、射频13.56MHz、功率200W、加速栅压-200V和减速栅压+85V条件下,电子束蒸发镀膜反......