随着信息流量的快速膨胀和5G技术的落地推广,光纤通信网络也处于智能化升级的当口。光开关作为光纤通信网络中的核心器件,其市场需......

描述了利用低相干干涉技术实现光学镜面间距测量的方法。首先，采用微机电系统(MEMS)光开关多通道延迟结构实现测量范围的多倍增，然后......

MEMS光开关以其响应速度快、空间光交换、微型化以及与传统CMOS工艺兼容等优点,已经成为了通信应用中数据交换的重要构件。在MEMS......

微电子机械系统(Micro-Electro-Mechanical System,MEMS)是近年来国际上兴起的一个新的研究领域,是新一轮技术产业革命.目前,世界......

本文设计了1×8MEMS光波长信道选择器的驱动电路,利用电路中的串口信号转换芯片将光波长信道选择器与计算机相连,实现了计算机操作......

提出并制作了转动竖直微镜的微机械光开关,采用曲线形状的电极设计,有效地减低了悬臂梁驱动器的吸合电压,采用体硅深刻蚀技术结合(......