通过极化拉曼对以Si（001）为衬底、生长方向为NiSi[200]//Si[001]NiSi薄膜材料的拉曼峰进行了声子模式的分组，确定实验得到的NiSi薄膜......

本论文对适用于深亚微米CMOS器件的镍自对准硅化物工艺进行了深入的研究。随着器件尺寸的进一步缩减，与传统的Ti、Co自对准硅化物相......