微光学元器件具有体积与重量都很小、制造成本低廉,在实际应用中表现优异等优点,因而被应用于显示技术、光场操作、集成光学系统中......

太赫兹波是指频率在0.110THz(波长为3mm30μm)范围内的电磁波(简称太赫兹),它具有很多独特的性质:太赫兹波的波长短,空间分辨率很......

提出了一种简易的基于SU8和PMMA的电泳芯片的制作方法,研究了PMMA基底上SU8胶微管道的光刻和薄膜微电极的lift-off制作工艺,探讨了......

Sub-micron-structure machining on silicon substrate was studied by direct writing system of femtosecond laser with the c......