ZnO∶Zr薄膜相关论文
利用直流磁控溅射法在玻璃衬底上制备出了可见光透过率高、电阻率低的ZnO:Zr(ZZO)透明导电薄膜。讨论了溅射功率对ZZO薄膜结构、形貌......
利用直流磁控溅射法在有ZnO∶Zr缓冲层的水冷玻璃衬底上成功制备出了ZnO∶Zr透明导电薄膜,缓冲层的厚度介于35~208nm。利用XRD、SEM......
利用直流磁控溅射法在玻璃衬底上制备了ZnO:Zr(ZZO)透明导电薄膜。研究了厚度对薄膜结构及光电性能的影响。研究结果表明,厚度对薄膜的......
以Zn∶Zr为靶材,利用直流反应磁控溅射法制备了ZnO∶Zr透明导电薄薄膜。研究了沉积压强对ZnO∶Zr薄膜形貌、结构、光学及电学性能......
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利用射频磁控溅射法在室温下制备出了掺锆氧化锌(ZnO∶Zr)透明导电薄膜。研究了溅射压强对ZnO∶Zr薄膜表面形貌、结构、光学和电学性......