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micro-mechanical-resonators相关论文
空气阻尼对微谐振器品质因子及其传输函数的影响
振动方向平行于衬底的梳状微谐振器的品质因子在高真空下可以高达1065以上,常压下,受空气阻尼影响,品质因子跌落到10^2左右甚至更小,为......
期刊
空气阻尼
微谐振器
品质因子
传输函数
功耗
粘滞阻尼
micro-mechanical-resonators
quality factor
energy di
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