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基于变量分离分解法的极紫外光刻三维掩模快速仿真方法
提出了一种基于分离变量法的极紫外光刻三维掩模衍射谱快速仿真方法,在保证一定仿真精度的前提下提高了仿真速度。该方法将三维掩......
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梯度特异材料表面对入射高斯光束的反射研究
最近人们[1-3]提出了一类反射式梯度特异材料表面系统,此系统可以高效地将入射波转换成被束缚于材料表面的表面波,这个系统成为连......
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