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倾斜位移相关论文

一种新型微机电系统法布里-珀罗滤波器的设计与分析

基于微机电系统(MEMS)技术,提出了一种光栅与法布里-珀罗(F-P)腔相结合的新型MEMS F-P滤波器结构,这种滤波器既能保证较宽的自由光......

期刊

光学器件自由光谱范围微机电系统滤波器光栅倾斜位移半峰全宽法布里微桥滤波器结构

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