光学对准相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

光学对准相关论文

关于4 10G 850nm AOC耦合技术的研究

高速大数据的传输与信息处理是光通信中的重点。4×10G 850nm是大数据处理中心所用的关键部件,本文介绍了基于一种垂直腔体发射激......

期刊

40G850 VCSEL 光学对准光功率光响应度紫外胶 40G 850 VCSEL Optical Alignment Laser Power Optic

基于光学对准的光刻机投影物镜密集线焦深原位检测技术

提出了一种检测光刻机投影物镜密集线焦深(DOF)的新技术。该技术将具有精细结构的测量标记曝光在硅片上,硅片显影后,由光学对准系......

期刊

激光技术焦深光学对准投影光刻机原位检测

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