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精密位移测量技术在航空航天军用领域、超精密机械等工业技术领域都有着重要的应用。基于衍射光栅的位移测量系统以光栅栅距作为测......
大行程(分米级)高精度(亚微米级甚至纳米级)的定位技术是半导体加工、精密制造、光学工程等领域的关键技术之一,对上述产业的发展......
光栅位移测量技术因具备精度高、稳定性好、体积小、灵活性强、成本低等诸多优点,在超精密测量方面具有重要价值,尤其是在超精密加......
精密定位技术作为精密载物台的一项关键技术，其应用领域非常广泛，对该技术的研究处于国际上精密工程技术的前沿，具有重大科学意义和应......
光栅是高精度位移测量元件,它与数字信号处理仪表配套,组成位移测量系统,被广泛地应用于数控机床等自动化设备当中。光栅测量位移......
