共焦显微系统相关论文
共焦显微技术是一种用于微米和纳米尺度三维形貌测量的光学显微技术,具有独特的轴向层析能力,以其高精度,非接触,不损伤测量表面等......
随着微细加工、超精密机械、仪器科学技术等学科的不断发展,对零件的表面要求越来越高,表面形貌测量已成为测量学中一个重要方向。共......
共焦显微系统的点探测使其在横向上产生“1.4倍”的分辨率提高,但实际针孔尺寸不可能无限小。另外,为了满足信噪比的要求,针孔尺寸......

