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16 nm极紫外光刻(EUVL)物镜热变形是影响其高分辨成像的主要因素之一。为了给EUVL系统热管理提供可靠的技术依据,对数值孔径为0.33......
10nm以下光刻技术牵引极紫外(EUV)光刻物镜向超高数值孔径(NA)、组合倍率设计形式发展,物镜系统的入射角和入射角范围因此急剧增大......
对于分布式系统,国内外已进行了长时间的研究。通常采用中间件的解决方案,来解决异种环境中的互操作性。研发前期,人们主要将精力......
在动态、开放和个性化的网络平台上，软件容易受到环境变化和用户需求改变的影响。系统管理人员为维持软件的正常运行，对软件系统进行......
光学成像系统的极限分辨率受到系统孔径和波长的限制,增大系统孔径是实现高分辨率目标成像的必然选择。然而,大口径光学系统的加工......
极紫外(Extreme Ultraviolet,EUV)光刻是实现11nm及以下节点光刻技术中最具潜力的光刻技术。EUV光刻投影物镜系统使用反射式光学元......
本文介绍一个数值孔径0.4、视场10×10mm~2可用于1:1分步投影光刻机的镜头的光学设计及其模型实验结果.光学设计在Wynne-Dyson的1:......
本文从三级像差理论导出了三镜系统消S_Ⅰ、S_Ⅱ、S_Ⅲ、S_Ⅳ的代数解.以第二及第三镜的遮拦比和放大率,以及三个镜面的面形系数为......
为了更好地利用区域结构函数评价大口径反射镜表面面形,引入了Randon变换作为区域结构函数坍陷的工具。对于使用Randon变换进行区......
要将乐谱变为优美的音乐，或将音乐变成乐谱，是许多学习音乐的学生感到十分困难的事。于是许多人开始满足于跟琴、跟媒体学，将乐谱成为......
什么是习惯，从心理机制上说，习惯是经过长期多次强化和积累而建立起来的一种动力定型和自动化的条件反射系统。从教育学的角度看，习惯......
在当今各国军事实力日益增强的今天，战场上对敌有效打击成为战争成败的重要举措。因此，目标指示器，尤其是激光目标指示器，在军事中的地......
提出了一种基于多模法布里-珀罗激光器外调制的移频本地外差检测布里渊光时域反射系统,分析了系统提高光纤受激布里渊散射阈值和移......
识别一只猫有多难?对于我们人类来说,识别一只猫可以在瞬间完成,而对于计算机来说,由于它不具备人类大脑高度发达的神经反射系统,......
