套刻误差相关论文
在线测量检测技术与装备是保证集成电路（IC）制造质量和良率的唯一有效技术手段，在IC制造过程中必须对IC纳米结构的关键尺寸、套刻误差......
随着半导体制造节点的不断缩小,如何精确地测量套刻误差变得十分重要。为了检测光刻层之间的套准质量,通常会在半导体器件的划线槽......
大口径高分辨率空间光学系统是世界上的热点研究领域。与欧美国家相比,我国在薄膜衍射元件的制作工艺方面还处于起步阶段,距离国外......
