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根据超突变结变容二极管设计和工艺特点，报道了利用SILVACO公司工艺模拟软件Athena、器件模拟软件Atlas等完成超突变结变容二极管的......
本课题来源于十二五规划863项目。在氮化镓发光二极管(GaN LED)行业发展的今天,良率一直是影响金属有机化学气相沉积(MOCVD)法制备......
蚀刻在半导体工艺中主要负责图形转换的过程,线宽的变窄对工艺的稳定性提出了相当高的要求。90nm以下的逻辑产品,铜互连成为替代铝......
