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半导体洁净厂房FFU与高架地板布置对气流流形影响的分析
当前的洁净室建造中,MAU+FFU+DCC是主流的气流组织方案,而其中高洁净等级的半导体洁净厂房又以高架地板为主要的回风型式,通过FFU......
期刊
洁净厂房
FFU
高架地板
气流组织
布置率
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