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弧斑运动相关论文
真空电弧离子镀弧源内部冷却系统的温度场模拟研究
真空电弧离子镀技术是一种将弧光放电应用到蒸发源的镀膜技术,同时也是离子镀的一种改进方式,这种镀膜技术广泛应用于很多领域,如......
学位
真空电弧离子镀
冷却结构
温度场
弧斑运动
磁场控制
阴极电弧源磁场特性对大颗粒和靶材利用率的影响规律研究
电弧离子镀膜技术是一种将真空弧光放电用于蒸发源的真空镀膜技术,具有离子能量高、沉积速率快、膜-基结合力高、膜层致密、离化率......
学位
阴极电弧源
磁场仿真
弧斑运动
动态磁场
大颗粒
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